VCSEL, d. h. vertikaler Oberflächenstrahllaser, vereint die Vorteile hoher Ausgangsleistung, hoher Umwandlungseffizienz und hochwertiger Strahl. Im Vergleich zu LED- und Kantenemitlässigem EEL hat er die Vorteile von Genauigkeit, Miniaturisierung, geringem Stromverbrauch, Zuverlässigkeit und anderen Aspekten sind in allen Aspekten überlegen.
VCSEL-Geräte haben zwei grundlegende Strukturen. Eine davon ist eine top-emitting Struktur: Es wird auf einem n-Typ GaAs Substrat mit MOCVD-Technologie angebaut, DBR wird als Laserhohlraumspiegel verwendet, und der aktive Bereich des Quantenbrunnens ist zwischen n-DBR und p-DBR dazwischen eingeklemmt. Die andere ist die bodenbenahe Emissionsstruktur, die in der Regel verwendet wird, um das 976-1064nm Band zu produzieren. In der Regel wird das Substrat auf weniger als 150 m ausgedünnt, um den Absorptionsverlust des Substrats zu reduzieren, und dann wird eine Schicht antireflexionsbeschichtung angebaut, um die Qualität des Laserstrahls zu verbessern. Schließlich, der Gain-Chip auf dem Kühlkörper installiert.
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